真空機組是以泵為主泵，以旋片泵為前級泵串聯而成的。旋片真空機組選用的旋片泵作為前級泵，因此它克服了旋片泵使用時在一定壓力下抽氣速率低的缺點，而且同時保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率等優點。因為該機組的結構緊湊、抽速大、占地面積小，所以可以代替多臺機械真空泵,因此旋片泵機組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設備的預抽、電真空半導體等行業中抽除密閉容器中含氧不高的、無爆炸性的、對金屬無腐蝕性的、與泵油不會起化學反應的也不會含有顆粒塵埃的氣體。

    真空機組以羅茨泵為主泵，以水環泵為前級泵串聯而成的。真空機組選用的水環泵成為前級泵比其它的真空泵更為有利，因為它不但克服了單臺水環泵使用時極限壓力差（機組的極限壓力比水環泵的極限壓力有很大的提高），在一定壓力下抽氣速率低的缺點，而且與此同時又保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率的優點。它能夠適應抽除大量的可凝性蒸汽，尤其是當氣鎮油封機械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化進而影響性能，或者是真空系統不允許油污染時更為明顯。如果配有防爆電機及電器時并遵守相應的安全規則下,還能夠抽除易燃易爆的氣體。
    因此水環泵機組能夠廣泛地用于化工行業中的真空蒸餾、真空蒸發、脫水結晶等；食品行業中的冷凍干燥等；醫藥工業的真空干燥等；輕紡工業的滌綸切片等；高空模擬試驗等的抽真空系統中等。
真空機組，大概可以分為下面幾種類型：
水環泵：機組中水環泵的作用主要是造成羅茨泵所需的預備真空，對于一般情況而言，單級水環泵極限真空度不高，而目前我國生產的羅茨泵要求的預真空又比較高，因此實際上我們一般不用單級水環泵作為羅茨泵的前級泵，而是采用了極限壓力較低的雙級水環泵作為前級泵使用，這樣還可以降低機組的極限壓力。
一臺泵與一臺水環泵的極限壓力是400Pa，這可以滿足一般的真空需求，但它使用的范圍會受到一定的限制，如果用兩臺羅茨泵串聯再與水環泵組合，就可以大大提高機組的極限壓力（可以達到25Pa）。因此在這種類型里通常見到的是兩臺羅茨泵串聯后再用雙級泵作前級泵組成機組。如果需要更高的極限壓力，可以使用三臺羅茨泵與水環泵組合，它的極限壓力可以達到1Pa。
倘若三級水環機組還是不能滿足極限壓力的時候，我們可以采用水環泵并聯機械真空泵。這個機組主要用于需要處理大量水蒸汽，時間長且極限真空度要求非常高的抽真空系統，比如在真空干燥方面。
    如果要求處理大量水蒸汽的真空系統中，使用水環泵是比較合適的，但是因為其極限真空度不高，而導致整個機組的極限真空度較低（這個只是相對而言）。雖然在要求真空度較高的抽真空系統中，需要極限真空較高的機械真空泵作為前級泵使用。可以把氣鎮機械真空泵與水環泵并聯，作為泵的前級泵。真空干燥時，先用水環泵進行預抽，直到它的水蒸汽大量減少時，再開動氣鎮機械真空泵，切斷水環泵。如果需要較長時間才能完成干燥的場合，所需冷卻水和功率都比較少。