羅茨式真空泵工作原理與特點
發表時間:2013-10-30 09:08:11
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羅茨式真空泵工作原理 靠泵腔內一對葉形轉子同步、反向旋轉的推壓作用來移動氣體而實現抽氣的真空泵。 羅茨式真空泵特點 羅茨真空泵的特點是:啟動快,耗功少,運轉維護費用低,抽速大、效率高,對被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感,在100~1帕壓力范圍內有較大抽氣速率,能迅速排除突然放出的氣體。這個壓力范圍恰好處于油封式機械真空泵與擴散泵之間。因此,它常被串聯在擴散泵與油封式機械真空泵之間,用來提高中間壓力范圍的抽氣量。這時它又稱為機械增壓泵。 |